Ch?c n?ng ??nh tâm và san b?ng
Bàn xoay hi?n th? các ?i?u ch?nh c?n gi?a và san b?ng k? thu?t s?, làm cho nhi?m v? ??y th? thách này ?? ??n gi?n ?? ngay c? m?t ng??i ?i?u hành m?i c?ng có th? th?c hi?n.

1. ?o s? b? hai m?t c?t: A và B.

2. Sau khi ?o s? b?, các giá tr? ?i?u ch?nh c?n gi?a và san b?ng ???c hi?n th? trên màn hình

3. B?ng cách ?i?u ch?nh các ??u ?o cho bàn quay, có th? ??t ???c các giá tr? ?i?u ch?nh ho?c ??ng h? ?o m?c hi?n th? trên màn hình.

4. Hoàn thành ??nh tâm và san b?ng.
Ph?m vi ??nh tâm: ±3mm
Ph?m vi san b?ng (?? nghiêng): ±1°

THÔNG S? K? THU?T

Thông s? k? thu?t

Bàn xoay

• • ?? xoay chính xác (h??ng tâm): (0.02+6H/10000)µm (RA-1600)
  • ?? xoay chính xác (quanh tr?c): (0.02+6X/10000)µm (RA-1600)
  • ?? xoay chính xác (h??ng tâm): (0.03+6H/10000)µm (RA-1600M)
  • ?? xoay chính xác (quanh tr?c): (0.03+6X/10000)µm (RA-1600M)

H: chi?u cao l?y m?u (mm), X: bán kính l?y m?u (mm)

• T?c ?? quay:

  4, 6, 10rpm
• ???ng kính bàn quay:

  ø5.9″(150mm)
• Ph?m vi ??nh tâm:

  ±3mm (v?i ch?c n?ng DAT)
• Ph?m vi san b?ng:

  ±1° (v?i ch?c n?ng DAT)
• ???ng kính l?y m?u t?i ?a: ø11″(ø280mm)
• ???ng kính phôi t?i ?a: ø22″(ø560mm)
• T?i t?i ?a c?a bàn xoay: 55lbs (25kg)

Tr?c máy d?c (Tr?c Z)

• Hành trình d?c:

  11.8″ (300mm)
• ?? th?ng (trong ph?m vi h?p): 0,20µm / 100mm (RA-1600)
• ?? th?ng (trong toàn b? d?i): 0,30µm / 300mm (RA-1600)
• ?? th?ng (trong ph?m vi h?p): 0,40µm / 100mm (RA-1600M)
• ?? th?ng (trong toàn b? d?i): 0,80µm / 100mm (RA-1600M)
• ?? song song v?i tr?c bàn xoay: 1.5µm / 300mm
• T?c ?? ??nh v?:

  Max. 15mm/s
• T?c ?? ?o:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• Chi?u cao l?y m?u t?i ?a (ID/OD): 11.8″(300mm)*1
• ?? sâu l?y m?u t?i ?a: 91mm (l?n h?n ø32)
• 3.6″(l?n h?n ø1.26″)((91mm (l?n h?n ø32))
• 1.97″(l?n h?n ø0.27″)((50mm (l?n h?n ø7)

Tr?c ngang (Tr?c X))

• Hành trình ngang:

  6.5″(165mm) (T? tr?c bàn xoay -1~±5.5″
  ((-25mm – ±140mm))
• T?c ?? ??nh v?:

  Max. 15mm/s
• T?c ?? ?o:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• T?c ?? ?o:

  0.5, 1, 2, 5mm/s
• ?? th?ng tr?c X: 2.7µm/140mm (RA-1600)
• ?? song song tr?c X v?i tr?c bàn xoay:
• 1.6µm/140mm (RA-1600)

??u dò và ??u ?o

• D?i ?o

  ±400µm / ±40µm / ±4µm
• L?c ?o

  10–50mN (5 lm?c chuy?n ??i)
• ??u ?o tiêu chu?n:

  2AAL021, ??u bi cacbua, ø1.6mm
• H??ng ?o: Hai h??ng
• ?i?u ch?nh góc ??u ?o: ±45° (v?i v?ch chia)

Cung c?p không khí

• Áp l?c khí:

  0.39MPa (4kgf/cm2)
• M?c tiêu th? khí:

  22L/min.

• Ngu?n c?p

  100V AC – 240V AC, 50/60Hz
• Kích th??c (W x D x H): 35 x 19.3 x 33″(890 x 490 x 840mm)
• Kh?i l??ng:

  375lbs (170kg)

* 1 S? d?ng giai ?o?n ph? tr? tùy ch?n ?? ?o phôi có chi?u cao t? 20mm tr? xu?ng.